青岛国林半导体技术有限公司

来源:米6体育官网  作者:米乐体育网页入口  2022-09-14 01:03:10

  采用高浓度、超纯净、深度精细工艺的臭氧实现技术是该发生器实现的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。  臭氧气体输送系统,可产生超纯、可靠的

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  采用高浓度、超纯净、深度精细工艺的臭氧实现技术是该发生器实现的基础。臭氧被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。

  臭氧气体输送系统,可产生超纯、可靠的臭氧气体。在清洁的半导体环境中,借助臭氧气体反应实现原子层沉积 (ALD) 和蚀刻 (ALE) 等薄膜沉积工艺

  半导体级高浓度臭氧水系统专为半导体行业应用而开发设计,系统采用高浓度、超纯净臭氧生成与混合控制技术,选用高品质、超纯耐臭氧材料,实现为半导体行业应用提供超洁净、高浓度臭氧水。

  青岛国林半导体技术有限公司系青岛国林环保科技股份有限公司(股票代码:300786)全资子公司,专注于研发半导体、光伏新能源、电子光电等相关领域的臭氧应用系统解决方案。

  国林科技成立于1994年,一直致力于臭氧产生机理研究,臭氧装备设计制造,臭氧工艺应用的专业化臭氧公司。2021+

  公司将始终致力于不断提升中国半导体臭氧装备技术水平,为中国半导体设备国产化发展做出贡献。

  公司掌握半导体级臭氧装备的一系列关键核心技术,拥有多项臭氧核心产品知识产权。

  友情链接:青岛国林环保科技股份有限公司新疆国林新材料有限公司中国臭氧技术网

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